1 1
2 524287
3 580606446
4 45232115901
5 749206090500
6 4306078895384
7 11143554045652
8 15170932662679
9 12011282644725
10 5917584964655
11 1900842429486
12 411016633391
13 61068660380
14 6302524580
15 452329200
16 22350954
17 741285
18 15675
19 190
20 1