1 13
2 17
3 19
4 67
5 103
6 947
7 1741
8 21517
9 43237
10 894930587
11 23481740411754637
12 606997343490162637
13 3312764729596766399944113137
14 1140711996797519078728387466887
15 815970262367657972299041020065569977629234387
16 20881494984250735169104758744498001297509736890637
17 111780208762818004165355456416203638295666934805782421887
18 21823444327799693016554119437188129691409772439295854687009050360035068359387
19 21794063340830358372583627434335807433330855121943358753827858327644369931640637
20 93476258567531646906570208814306783205877772611739750512458320244360097299162320166015637
21 2406499206301875906725657974887749941110084921433882993173383391157689230089295030129624170151353935619542304520994293212890637
22 14341987592604768976056926014305487486227020213409752902492968394739906686312100196361527544452922616804699065745577677986721333275441995093294037155914306640637