1 1
2 4
3 2669
4 9559
5 15293
6 32583
7 36593
8 38443
9 255367
10 257239
11 273977
12 283391
13 314101
14 421553
15 488363
16 532975
17 768699
18 839973
19 871757
20 1960479
21 2337221
22 2374867
23 3084659
24 3326653
25 3735029
26 4440017
27 5387373
28 7930439
29 8114377
30 14628761
31 17093447
32 17717057
33 19487159
34 19976761
35 21364979
36 23221973
37 42277855
38 42571177
39 43803647
40 44673079
41 47061737
42 54937983
43 56474639
44 56945271
45 58559423
46 61376561
47 61927781
48 61969319
49 62775679
50 63331963
51 63504127
52 67553657
53 71566771
54 74411201
55 80044213
56 90212327
57 90307697
58 100525571
59 101725103
60 101823277
61 103697525
62 110631999
63 134365163
64 136676033
65 142256411
66 143592079
67 143832527
68 147677393
69 152092129
70 157793789
71 202584679
72 211789073
73 215237747
74 216281873
75 241583113
76 257568167
77 265925633
78 268160693
79 271588217
80 275026369
81 283479953
82 331979447
83 355730059
84 368160323
85 375779881
86 393233503
87 397482959
88 398965193
89 441174643
90 455238233
91 483629131
92 488316547
93 511495927
94 514218697
95 539578577
96 550530131
97 569040931
98 578467271
99 591361513
100 599925505
101 606761495
102 634612883
103 638411887
104 687435779
105 710378009
106 733377911
107 763193437
108 782425675
109 782767499
110 800150399
111 811314623
112 870897463
113 903674827
114 906886717