1 635318657
2 3262811042
3 8657437697
4 68899596497
5 86409838577
6 160961094577
7 2094447251857
8 4231525221377
9 26033514998417
10 37860330087137
11 61206381799697
12 76773963505537
13 109737827061041
14 155974778565937
15 156700232476402
16 621194785437217
17 652057426144337
18 680914892583617
19 1438141494155441
20 1919423464573697
21 2089568089060657
22 2105144161376801
23 3263864585622562
24 4063780581008977
25 6315669699408737
26 6884827518602786
27 7191538859126257
28 7331928977565937
29 7362748995747617
30 7446891977980337
31 7532132844821777
32 7985644522300177
33 9857551363885937
34 10714004223480497
35 12514573616092402
36 13078272245398097
37 17757818522558321
38 22406743733252161
39 22450391640617602
40 25633243495011682
41 33628088414785537
42 36687517059308977
43 45001876412998081
44 47755514990003857
45 48774427226631682
46 52112731140326882
47 55683917506335026
48 60901670118083521
49 63804887969471282
50 71934755621270002
51 73109920692788977
52 82854744266785937
53 89971312524350417
54 90239171293339457
55 97290115045340801
56 108442037456023522
57 126167775405920161
58 164048155993537217
59 217156119791052577
60 240165688772218882
61 345158471989572817
62 353024002496022322
63 357735036026977457
64 555990243127229377
65 564217111556825297
66 615890681992799522
67 620072632632154337
68 652136283350664226
69 882043192835326402
70 988710032910985057
71 1001132315696182721
72 1014653683322314897
73 1075069703066384497
74 1080945966330841186
75 1873044371409320002
76 1992089237030542337
77 2056314197022256097
78 2506499892338119441
79 2519759146699058417
80 2569595578866824162
81 2578424962660913537
82 2701104520630058561
83 2872675783939903057
84 2951823940171140337
85 3023448398336411042
86 3267700501872475297
87 3656080821185585057
88 3817750614770827682
89 4319584223046385297
90 4544031582110882417
91 4694339480179345762
92 6669247142025545057
93 7214246345961072337
94 9445999357097635921
95 9605601226648858097
96 10555434261160919777
97 12361929340136667457
98 13178862181074917617
99 13771030853755866577
100 13988757531968846002
101 14384064391982600657
102 14819852653533970561
103 15165092214875550737
104 15734222644052943617
105 17472238301875630082
106 17490570639474466882
107 18606503722648215937
108 21603206516342564801
109 22958147059361686481
110 23076050051029379057
111 23758087558786502417
112 24963705889075968481
113 25620911070728264017
114 25654967740596480257
115 27055150947292368497
116 28490167985121869602
117 29736747070394804257
118 30399847060357224337
119 30660080746988103857
120 32423426506249617602
121 32542616345159588737
122 33053323356409415537
123 34048830337215366802
124 37325784944375781442
125 38216579947216744961
126 41788328705451958642
127 44248115028307415842
128 45820918092250685537
129 47043337957342172881
130 49544161399491734642
131 56631065967368472577
132 61826201990431663282
133 63775883622292702481
134 65284251162280783697
135 65998688946373606337
136 67666156040959774817
137 67676652354844046737
138 68665069390167758962
139 72842890674627626162
140 74908242815547288737
141 81953320980811651682
142 91125345143648462417
143 93094139950616417537
144 103361916611578725377
145 107476954282853894257
146 119880781585424489842
147 121164148256517026977
148 123058209570292002577
149 127314773787626497537
150 130742694403385097617
151 133991050827803234881
152 138677961290670649202
153 149268689581640242657
154 149270855687204233057
155 150787006641949108961
156 157958391376798635697
157 173329443404113736737
158 177988959834913686737
159 191172995608257703057
160 202639619291109341906
161 205251152098052721457
162 207536518650314617202
163 212157575295671856577
164 227360377515506985377
165 254105042585380120081
166 254478756511850242577
167 259850196670274530882
168 271586003990660664497
169 280344024498199948322
170 289682357963662110017
171 327880044625280586722
172 335875812638910622082
173 384676340350145759681
174 386616400094277807217
175 387713955708440429377
176 397322481336075317362
177 416279631425098854737
178 420029988667795416401
179 434795461259087505217
180 435842208362305957937
181 445048323794982930962
182 466088952474555299297
183 513702867816198357697
184 543161639629303119377
185 549139697679003145457
186 558202394789412618082
187 560612542378067157697
188 578508258081430949537
189 591186144039170828977
190 599014859069701240417
191 599621504643341917937
192 635777139652020510817
193 658208979567709540721
194 670049788733789240737
195 739822170277439760482
196 773695878637182987841
197 777015010761294384577
198 817454885482705643521
199 926881414444994958161
200 939331151143514510482
201 989308435665478972801
202 1016667032054307378562
203 1034146755368771522657
204 1040800661050657718977
205 1104901975261146378242
206 1194627633713251018417
207 1343364865707330189617
208 1425657166580216471537
209 1479033401021234844161
210 1536364418297817213442
211 1563228881248394472881
212 1563648857530549461857
213 1592991489763159079617
214 1616981641076263204657
215 1620419064801306478721
216 1952895451087944088081
217 2132083839112150682977
218 2188888337989920102962
219 2267446021887430282417
220 2291207954895811566562
221 2316238901040356507617
222 2374368213525236772401
223 2379282966895972372897
224 2379654812988498248642
225 2431454136192301307617
226 2584516486607048713282
227 2672178959034477178577
228 2745545629859867316226
229 2793745549761193085057
230 2954488854267621896177
231 2998624205663833061041
232 3033017400350326790417
233 3104186105707971463937
234 3186164390715887501777
235 3199839506503055720561
236 3412844112940139869777
237 3525127691911133224097
238 3712004021656889505377
239 3926133489936308955121
240 4113155646230493689377
241 4116096872337577825442
242 4406917923137830439681
243 4631785773231589330097
244 4651758830530485941297
245 4921403868579971322562
246 5012703111897792385201
247 5022667016843821218977
248 5038767537882101285602
249 5385032343434411272817
250 5476764793920858732577
251 5859353040700895969297
252 5994644619903276941122
253 6022613707378303588082
254 6246178883420505373297
255 6474007648105799958017
256 6822171645549542113537
257 7032326814073630346737
258 7564557303813506272321
259 7574347543493930371202
260 7769819482904280218401
261 7856469287206689968257
262 8294614021184292928097
263 8760809388452974395761
264 8863458165351354981602
265 9031215733127298023057
266 9097254154519734570977
267 9211457702218250906561
268 9261267141710836303217
269 9876438763765832161297
270 10677008817799543302082
271 11076934586038527789106
272 11809563721363070005537
273 11922869790529067925442
274 12315842698379512101937
275 12577732728239934397042
276 12607087424819362113857
277 12777995452939606915297
278 14038885762629943366402
279 14436997278345757196722
280 15526886660244170828257
281 15613037905569559469057
282 16172180742333484984177
283 16346946786411245398162
284 16680026435676656775122
285 16952275167980549813842
286 17054014270161852987026
287 17100550156862581716001
288 17777220766678593577361
289 18559375588643680011602
290 19320863037128645560801
291 19581415767557848886497
292 19774264694981895615137
293 20604024937648032565297
294 21399557927694498958801
295 23488565502795257135666
296 23782991524951698503617
297 24053727357355057828946
298 24349601056611464288002
299 24967077521417344279217
300 26724150728418685963282
301 27477502936897472159906
302 29232929878031468152321
303 29574970053417739487281
304 29700725526319866527617
305 31090952941660659565697
306 31329457432612277031586
307 31609879649842802468242
308 31718907618726590473457
309 32063360059979797137697
310 33865371328930939750417
311 34000475760636534679217
312 35144188723942028684017
313 35556432119230117305937
314 37229934968583656372657
315 37711811370153283933777
316 38268593646115939913122
317 39468415450719960542401
318 41487444666944973747697
319 43665361934043074409617
320 44156065102105040990417
321 44741660951536530861377
322 46653196984282796578961
323 48781224335548000238017
324 49238646524271544454417
325 49439887595773068675922
326 49584895310107147328642
327 49927044383459272861537
328 50039554260233922590177
329 50182890975917029759186
330 52493345451171267520817
331 53235381727021831481377
332 54525547938183190362257
333 55427594589714866071921
334 56208871447858675101137
335 57643462796757163755857
336 62964266717099909498737
337 63747974522675526872177
338 64651585809610188428162
339 65322293296266615582802
340 66048743876222843668321
341 67319101270180064898226
342 67463312687220715867937
343 69190040408802577144802
344 70550213372173855632881
345 70780090752022440719057
346 73112077867168450310737
347 75247401848225417158417
348 75313454631302232403042
349 75948917104718865094177
350 77021165356007628110161
351 77550037869566741195441
352 78449638842568366960337
353 81784848776128260253922
354 82298438370431661151922
355 82482867561878063065057
356 83295762094196779427921
357 85195292198609035858417
358 85300459036109914543697
359 85314253220738802411122
360 86772644608281238018177
361 87852987723612098361841
362 90998654430545716945297
363 92953269856687658705057
364 94271078593589607548017
365 98855011388482729842641
366 99634169551914847010641
367 99847678319401585719106
368 102590186697451170890657
369 104674710445118658024002
370 105270864362649734339042
371 106336605189909380026082
372 107975870547372876709697
373 109997676838599285088417
374 110371618875847703747377
375 110845478900035190007122
376 110916734183369118411697
377 112976077399576742469362
378 116574529939532130002081
379 120752665161515077401281
380 127251629545499794736257
381 127846402411751209090402
382 132570951494241547338497
383 133415341831191224045537
384 140467971997700118307202
385 142780804583557471201537
386 143685521595247372394242
387 153689688930874299217057
388 156078273462154956029857
389 157464161211948314290642
390 159449738017867225237586
391 160112988678373884860561
392 161573095485180567536657
393 161685644624842534772417
394 165135055114270791194642
395 166190204390250705169697
396 166671163867101688061026
397 167415442450639657400177
398 168532044566818939789522
399 169319941399466808475202
400 169800596721920965464962
401 170985981189885675574097
402 174613438752314273318897
403 177149663118405906268097
404 177606527019760897452497
405 180224223526325856112577
406 180905670847378819211362
407 185495501380389021854257
408 187328250478236193938817
409 189159287825122189961762
410 193492876589734389921601
411 197047247526635808281282
412 215032111803950856931777
413 217748248265472814903441
414 222480922416964471031137
415 228211208894022448968722
416 239687024896428024007297
417 239923060954500765478082
418 253689362425352023629937
419 259656173655994372365937
420 262717938736255614189922
421 262903590283638337512257
422 272216665821330530530786
423 281153196581243510217842
424 283164471977530919174897
425 285222589050668701142177
426 287348799714417955733777
427 293651666746591362484337
428 302600674297647475686161
429 308898221356424030083537
430 319359611362670814870497
431 323563057273456408676657
432 326087836709386069358897
433 327486901781271151716497
434 327564049078507876033697
435 331794900330304375300562
436 333116661143475530240657
437 333460363744643917019281
438 337631864508125814619217
439 338321172963077165512577
440 343506879889956286772657
441 344317054313384176212497
442 345168690142725721957697
443 346849527264525397012657
444 348535657602250057016641
445 351369992919924508794497
446 353790654686028895230737
447 359279043854727553235137
448 359358181711118767914962
449 367743215765941897608817
450 370841646074574399822562
451 378777449064570548705777
452 379086745009009508822017
453 381469741755417114638017
454 383575111417098548173217
455 390236581847815559229122
456 392465954060692626676561
457 430249667010642855566642
458 439098035724311188167682
459 443161165749617436395122
460 443972030726675980369697
461 459213707513076588338146
462 467010532320433766173682
463 472780671925249452696977
464 480635213232876129429137
465 498232037590629724652386
466 512063279161242077001041
467 512707101935034440969506
468 540002429554761078438017
469 544761707239069242232801
470 550204675553716402018817
471 550950511435562169058657
472 553287592038155127702977
473 562664450826115552308242
474 564319313582769922166417
475 571829536022324442414161
476 579058367303586319628977
477 587484759320324201634737
478 600727029517318703598817
479 610845332496376800052481
480 612091674037988261177377
481 613294465243516295750177
482 618242594020093216633937
483 624001464104441349078242
484 641287580965957131577537
485 647879800563555244376722
486 648445637072322449277922
487 660266053575273727823617
488 685396163975312010769937
489 687435115548334621925857
490 697014897269897260695937
491 700536589667560967173441
492 726902724893876975876657
493 727353741451026463733842
494 735187239692490711885457
495 737598235607223394676882
496 737875692544451096859857
497 752567473769794478036641
498 753521118323077340578417
499 777022457309360056190257
500 803410644573121563173842
501 808900540693318564259441
502 817340214613697987663617
503 829771514541892201780082
504 833914023584483590034977
505 839931563554011064167602
506 850535808595022687671297
507 857444799803335543622146
508 867424409866509479031137
509 880778602449516619477841
510 902203343100475727414737
511 902211898305854414390402
512 955729969067227344233377
513 960213785093149760746642
514 962608047985759418078417
515 964057483682716649387537
516 1022624816783516967864017