1 3
2 11
3 43
4 683
5 2731
6 43691
7 174763
8 2796203
9 715827883
10 2932031007403
11 768614336404564651
12 201487636602438195784363
13 845100400152152934331135470251
14 56713727820156410577229101238628035243
15 62357403192785191176690552862561408838653121833643
16 1046183622564446793972631570534611069350392574077339085483
17 267823007376498379256993682056860433753700498963798805883563
18 5562466239377370006237035693149875298444543026970449921737087520370363869220418099018130434731
19 95562442332919646317117537304253622533190207882011713489066201641121786503686867002917439712921903606443
20 3506757267698915671493993255253419110366893201882115906332187268712488102864720548075777690851725634151321979237452145142012954833455869242085209847101253899970149114085629732127775838589548478180862167823854251